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  • 產品名稱:CYG511薄形壓力傳感器
  • 更新時間:2018-12-31
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產品詳細信息

CYG511型薄形壓力傳感器是專為空氣動力學研究中,風洞中試驗模型表面壓力場分布設計的。它尤其適用于模型很薄,無法用打孔安裝微型探針型傳感器的應用工況。將極薄的傳感器直接貼裝或挖淺坑埋下平貼齊模型表面安裝。它極薄的專用柔性引線可直接貼在模型表面上。因此它基本上不影響被測流場。

CYG511的壓力敏感元件采用先進的MEMS技術設計與制造。三維集成、雙面加工的硅壓阻壓力敏感元件具有優秀的線性精度、離子注入、精細光刻技術制作的惠斯頓應變電橋的高度一致性使其具有很小的溫度漂移、體微機械加工,精密各向異性腐蝕及硅硅直接鍵合技術使得硅薄膜力敏結構具有很高靈敏度,很優良穩定性,很優良動態性能的同時具有超薄的厚度。它綜合力敏結構與襯底加固結構的總厚度僅為0.6mm,更有利于獲得更薄最終尺寸的薄形傳感器。

CYG511為絕壓測量模式,標準壓力量程為100、160、250、400、600、1000、1600、2500、4000kpa。

CYG511外形為薄圓扣式。標稱直徑為ф8 mm,厚度為2.2 mm,引出線為5線柔性電線,長度為1m,在1m終點處接有用PCB板制成的電橋補償平衡器,柔性電線的厚度為0.15 mm,寬度為4 mm。

CYG511由于用敏感元件正面承壓,因此它適用于完全無腐蝕性,不導電性的干燥氣體。它有相當寬的工作溫區和非常優良的動態頻響特性,可使用在低至零頻,高至數千赫茲頻帶。如果介質因素復雜,含水量高,可使用復蓋有有機硅凝膠保護表面及電極的CYG511S(有機硅凝膠會降低其動態頻響性能)。采用薄膜有機材料覆蓋保護的產品CYG511P,由于保護膜厚度為um量級,對動態頻響損失較少,特制周期較長及有較多的成本增加。


1、性能指標參數:

指標/檔級非線性精度
±%FS
遲滯重復性
%FS
零位溫度系數
×10-4FS /℃
靈敏度溫度系數
×10-4FS /℃
零位時漂
<mv/8h
JA0.50.1550.2
JB0.20.1220.1

2、滿量程輸出:  最小值30mv  典型值80mv  最大值130mv

3、輸入輸出阻抗:最小值3 kΩ  典型值5 kΩ   最大值7 kΩ

4、輸入工作電流:1mA(恒流源)

5、工作溫度范圍:-55℃~+120℃

6、補償溫度范圍:-10℃~+80℃

7、過載能力:    額定量程的200%

8、加速度靈敏度:<0.001%FS/g

9、外形尺寸圖:

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